Оптическая нанолитография. Её виды кратко

Привет, Вы узнаете о том , что такое оптическая нанолитография, Разберем основные их виды и особенности использования. Еще будет много подробных примеров и описаний. Для того чтобы лучше понимать что такое оптическая нанолитография , настоятельно рекомендую прочитать все из категории Конструирование и проектирование электронной аппаратуры.

оптическая нанолитография использует различные оптические методы.

•Двухфотонная литография

–Двухфотонные процессы полимеризации позволяют достичь разрешения ~ 200 нм

–Вероятность протекания реакции зависит от интенсивности в четвертой степени

–Возможна 3D литография

•Ближнепольная литография

–Фотохимическое или фотофизическое воздействие с помощью ближнего поля зонда

•Ближнепольная литография с помощью фазовой маски

•Плазмонная печать

–Усиление света с помощью плазмонного резонанса
на металлических наночастицах вблизи поверхности

•Лазерно-интерференционная литография (ЛИЛ) метод производства с использованием лазеров высокой интенсивности, метод записи структур большой площади с разрешением много выше 5 нм без применения резиста.

•В лазерно-интерференционной нанолитографии используется 2 лазера. Об этом говорит сайт https://intellect.icu . Первый из них – генерирует непрерывное излучение с длиной волны 1064 мкм и является пучком- ловушкой.

•Это излучение проходит через линзу-аксикон и и формируется в пучок бесселевой формы, который затем расщепляется в четыре параллельных пучка при помощи двух интерферометров Маха-Зандера.

•Мощность каждого из бесселевых пучков имеет порядок 150 мВт и используется для захвата одиночной сферической линзы диаметром 0,76 мкм.

•Рабочий лазер генерирует импульсное излучение на длине волны 355 нм; длина импульсов имеет порядок 15 нс, энергия каждого из импульсов – в пределах 150 нДж – 8 мкДж.

•Пучок проходит через микросферы и попадает на подложку.

•Запись изображения производится перемещением подложки относительно оптических ловушек.

3D двухфотонная литография

Анализ данных, представленных в статье про оптическая нанолитография, подтверждает эффективность применения современных технологий для обеспечения инновационного развития и улучшения качества жизни в различных сферах. Надеюсь, что теперь ты понял что такое оптическая нанолитография и для чего все это нужно, а если не понял, или есть замечания, то не стесняйся, пиши или спрашивай в комментариях, с удовольствием отвечу. Для того чтобы глубже понять настоятельно рекомендую изучить всю информацию из категории Конструирование и проектирование электронной аппаратуры