Лекция
Привет, Вы узнаете о том , что такое 2.7. СОПРОТИВЛЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК, Разберем основные их виды и особенности использования. Еще будет много подробных примеров и описаний. Для того чтобы лучше понимать что такое 2.7. СОПРОТИВЛЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК , настоятельно рекомендую прочитать все из категории Материаловедение и материалы электронных аппаратов.
Металлические пленки широко используются в микроэлектронике в качестве межсоединений, контактных площадок, обкладок конденсаторов, магнитных и резистивных элементов интегральных схем. Электрические свойства тонких пленок металлов и сплавов могут значительно отличаться от свойств массивных проводниковых материалов. Одной из причин такого различия является разнообразие структурных характеристик тонких пленок, получаемых методом конденсации молекулярных пучков в высоком вакууме. При варьировании условий конденсации структура образующихся пленок может изменяться от предельно неупорядоченного мелкодисперсного состояния (аморфного) до структуры весьма совершенного монокристаллического слоя, получаемого эпитаксией. Другая причина изменения свойств материала в пленочном состоянии связана с проявлением размерных эффектов. В частности, в электропроводности размерный эффект возникает в том случае, когда толщина пленки соизмерима с длиной свободного пробега электронов. В этом случае удельное сопротивление проводника зависит от толщины пленки. Об этом говорит сайт https://intellect.icu . Согласно правилу Матиссена сопротивление тонкого проводника складывается из удельного сопротивления, связанного с рассеянием в объеме, и удельного сопротивления, связанного с рассеянием на поверхности пленки:
ρ = ρB + ρS .
Поскольку характер зарождения и роста пленок зависит от условий их получения (даже при одинаковых способах получения существует множество случайных факторов), на практике трудно получить точное совпадение значений удельного сопротивления пленок при одинаковой толщине. Поэтому при сравнении проводящих свойств тонких пленок пользуются параметром сопротивление квадрата R (или сопротивление на безразмерный квадрат, или удельное поверхностное сопротивление), численно равным сопротивлению участка пленки, длина которого равна его ширине при прохождении тока через две его противоположные грани параллельно поверхности подложки: R = ρδ /δ, где ρδ – сопротивление, учитывающее размерный эффект и δ – толщина пленки.
Подбором толщины пленки можно изменять R независимо от удельного сопротивления.
Сопротивление тонкопленочного резистора можно рассчитать по формуле: R=R l/d,
где l и d – длина и ширина резистора.
Для изготовления тонкопленочных резисторов обычно требуются пленки с поверхностным сопротивлением 500 … 1000 Ом/квадрат. В качестве резистивных материалов наиболее часто используют тугоплавкие металлы (вольфрам, молибден, тантал, рений, хром) и сплав никеля с хромом. Пленочные резисторы из чистых металлов имеют то преимущество, что они постоянны по составу, и поэтому легче обеспечивается однородность их структуры. А это приводит к повышенной стабильности электрических параметров.
Данная статья про 2.7. СОПРОТИВЛЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК подтверждают значимость применения современных методик для изучения данных проблем. Надеюсь, что теперь ты понял что такое 2.7. СОПРОТИВЛЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК и для чего все это нужно, а если не понял, или есть замечания, то не стесняйся, пиши или спрашивай в комментариях, с удовольствием отвечу. Для того чтобы глубже понять настоятельно рекомендую изучить всю информацию из категории Материаловедение и материалы электронных аппаратов
Из статьи мы узнали кратко, но содержательно про
Комментарии
Оставить комментарий
Материаловедение и материалы электронных аппаратов
Термины: Материаловедение и материалы электронных аппаратов