Лекция
Привет, Вы узнаете о том , что такое антенный эффект, Разберем основные их виды и особенности использования. Еще будет много подробных примеров и описаний. Для того чтобы лучше понимать что такое антенный эффект, эффект антенны , настоятельно рекомендую прочитать все из категории Электромагнитная совместимость.
антенный эффект — вообще способность тех или иных проводников излучать и принимать электромагнитные волны, т.е. действовать как антенна. Обычно термин А. э. применяют в случаях, когда этот эффект имеет характер паразитного явления, т.е. происходит излучение или прием электромагнитных волн проводниками, не предназначенными для этих целей. Так, например, А. э. может обладать антенный фидер, если он излучает и принимает электромагнитные волны.
Эффект антенны (эффект antenna), более формально вызванный плазмой оксидное повреждение затвора , представляет собой эффект, который потенциально может вызвать проблемы с производительностью и надежностью при производстве интегральных схем МОП . Заводы ( фабрики ) обычно предоставляют правила для антенн , которые являются правилами, которые необходимо соблюдать, чтобы избежать этой проблемы. Нарушение таких правил называется нарушением антенны . Слово антенна в этом контексте неправильно употребляется - проблема действительно в накоплении заряда, а не в обычном значении антенны., который представляет собой устройство для преобразования электромагнитных полей в / из электрических токов. Иногда в этом контексте используется фраза « эффект антенны » , но это менее распространено, поскольку существует множество эффектов , и эта фраза не поясняет, что имеется в виду.
На рисунке 1 (а) показан вид сбоку типичной сети в интегральной схеме . Каждая сеть будет включать в себя по крайней мере один драйвер, который должен содержать диффузию истока или стока (в более новой технологии используется имплантация), и по крайней мере один приемник, который будет состоять из электрода затвора над тонким диэлектриком затвора (см. Рисунок 2 для подробный вид МОП-транзистора). Поскольку диэлектрик затвора такой тонкий, всего в несколько молекул, большое беспокойство вызывает пробой этого слоя. Это может произойти, если сеть каким-то образом приобретет напряжение, несколько превышающее нормальное рабочее напряжение микросхемы. Об этом говорит сайт https://intellect.icu . (Исторически диэлектриком затвора был диоксид кремния , поэтому большая часть литературы относится к повреждению оксида затвора или разрушению оксида затвора.. С 2007 года некоторые производители заменяют этот оксид различными диэлектрическими материалами с высоким κ, которые могут быть или не быть оксидами, но эффект все тот же.)
Когда микросхема изготовлена, этого не может произойти, поскольку к каждой сети подключен хотя бы какой-то имплантат истока / стока. Имплантат истока / стока образует диод , который выходит из строя при более низком напряжении, чем оксид (либо прямая диодная проводимость, либо обратный пробой), и делает это неразрушающим образом. Это защищает оксид затвора.
Однако во время изготовления микросхемы оксид может не быть защищен диодом. Это показано на рисунке 1 (b), который представляет собой ситуацию, когда металл 1 подвергается травлению. Поскольку металл 2 еще не построен, диод, подключенный к оксиду затвора, отсутствует. Таким образом, если заряд каким-либо образом добавлен к металлической форме 1 (как показано в виде молнии), он может подняться до уровня разрушения оксида затвора. В частности, реактивно-ионное травление первого металлического слоя может привести именно к показанной ситуации - металл на каждой сетке отсоединен от исходного глобального металлического слоя, а плазменное травление все еще добавляет заряды к каждому куску металла.
Утечка оксидов затвора, хотя и плохо влияет на рассеяние мощности, позволяет избежать повреждения из-за антенного эффекта. Негерметичный оксид может предотвратить накопление заряда до разрушения оксида. Это приводит к несколько неожиданному наблюдению, что очень тонкий оксид затвора с меньшей вероятностью будет поврежден, чем толстый оксид затвора, потому что по мере того, как оксид становится тоньше, утечка увеличивается экспоненциально, но напряжение пробоя уменьшается только линейно.
Нормы антенны обычно выражаются как допустимое отношение площади металла к площади ворот. Для каждого межсоединения существует одно такое соотношение. Подсчитываемая площадь может составлять более одного многоугольника - это общая площадь всего металла, соединенного с затворами, без подключения к имплантату истока / стока.
Как правило, нарушения антенны должны устраняться маршрутизатором . Возможные исправления включают:
Данная статья про антенный эффект подтверждают значимость применения современных методик для изучения данных проблем. Надеюсь, что теперь ты понял что такое антенный эффект, эффект антенны и для чего все это нужно, а если не понял, или есть замечания, то не стесняйся, пиши или спрашивай в комментариях, с удовольствием отвечу. Для того чтобы глубже понять настоятельно рекомендую изучить всю информацию из категории Электромагнитная совместимость
Из статьи мы узнали кратко, но содержательно про антенный эффект
Комментарии
Оставить комментарий
Электромагнитная совместимость
Термины: Электромагнитная совместимость